羅茨真空泵是一種容積式真空泵，又稱機(jī)械增壓泵，是目前獲得中、高真空泵的主要抽氣設(shè)備之一，其工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，是利用兩個(gè)8字形轉(zhuǎn)子在泵殼內(nèi)作同步轉(zhuǎn)動，從而完成吸氣和排氣的過程。羅茨真空泵與其它油封式真空泵相比有以下特點(diǎn)：
    1、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；
    2、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體 、間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；
    3、泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；
    4、泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
    5、壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；
    6、轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國內(nèi)外得到較快的發(fā)展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。